集成电路（IC）产业是现代电子工业核心，当前规模持续扩张。但在晶圆制造、封装测试等生产环节中，会产生成分复杂、污染物浓度高的工业废水。本文将介绍一家专注集成电路废水处理的环保公司——苏州依斯倍环保装备科技有限公司，看他家是怎么处理这类废水的。

苏州依斯倍环保装备科技有限公司是一家来自荷兰外商投资的环保企业，于2011年在苏州工业园区正式成立，致力于为集成电路废水处理提供完整的循环利用及零排放解决方案，业务板块涵盖EPC系统交付、提标改造、废水站运维托管等。依斯倍一直专注于工业废水循环利用及零排放处理技术的研发，为客户降低成本，努力构建绿色生态循环系统，以“减量化”、“资源化”和“极小化”的“3R”原则为循环系统实施的核心。依斯倍工业废水循环利用及零排放处理系统已广泛应用于新能源汽车、机器人制造、航天航空、表面处理电镀、涂装生产线、电子半导体等行业。

一、集成电路废水的来源与特点

集成电路生产涵盖硅片制备、光刻、刻蚀、离子注入等多道工序，因使用高纯化学品和超纯水清洗，产生多种废水：含氟废水、含重金属废水、有机废水、含磷废水、含氨氮废水。

这类废水特点显著：成分复杂、污染物种类多；水质水量受生产工艺影响，波动大；氟化物、重金属等污染物毒性高、难降解；对出水水质要求严苛，部分需达到回用标准。

二、集成电路废水处理的主要工艺技术

处理遵循“分类收集、分质处理、综合回用”原则，结合多类技术：

1. 分质预处理：含氟废水用化学沉淀法，投加石灰生成氟化钙沉淀；含重金属废水通过调pH或用硫化物沉淀等方法处理；有机废水采用Fenton氧化、生物处理等降解；酸碱废水经中和反应调至中性。

2. 综合处理：预处理后废水先经混凝沉淀去悬浮物，再用A/O、MBR等工艺生化处理，最后通过高级氧化、反渗透等深度处理净化。

3. 污泥处理：产生的危险污泥经浓缩、脱水、稳定化/固化后，由资质单位处置。

三、废水回用与资源化

为应对资源与环保压力，企业推行“零排放”或“近零排放”，废水回用率超70%，可用于冷却补水、绿化冲洗，深度处理后还能作为超纯水原水。部分企业还从废水中回收金、银、铜等金属，实现资源循环。

集成电路产业高质量发展需环境友好支撑，高效废水处理是企业履责、保障产业链安全的基础。随着法规趋严与技术进步，集成电路废水处理将更智能、绿色、可持续，为“中国芯”崛起保驾护航。